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全自动微电子治具清洗机

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  • 设有电导率检测仪监测水质洁净度
  • 设有液体精密过滤循环系统，过滤精度可选
  • 具备多频超声波复合清洗，针对不同颗粒度清洗
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  • 具备抛动助洗功能
  • 兼容SECS/GEM通讯功能
  • 使用范围：晶圆盒、微电子治具、托盘、夹具等产品

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